氟化铝薄膜在深紫外波段的性质

摘要

使用热舟在不同基底温度和沉积速率下制备了AlF3薄膜。在真空中，温度升高和蒸发速率增大使堆积密度变大，从而使折射率增大。当薄膜暴露于空气中后，由于水吸收和Al2O3的形成使薄膜折射率增大。同时Al2O3。的形成有利于减少吸收。AlF3薄膜呈现非晶结构，散射较小。总之为了满足实际需求，必须优化工艺参数镀制AlF3薄膜。