四氯化硅工业应用进展

摘要

作为多晶硅生产的中间产物,四氯化硅的产量随着多晶硅生产规模的扩大而增多,学术界关于四氯化硅工业应用的研究也逐渐增多.本文介绍了四氯化硅在制备三氯氢硅、氮化硅陶瓷、白炭黑、多晶硅以及光纤原料高纯四氯化硅中的应用及进展,为化工企业合理利用四氯化硅提供了参考.