進展するリニアモータの産業応用：リニアモータの産業応用に関する現状と展望

摘要

1993年Ingersoll社がAnorad社のリニア同期モータを搭載した高速マシンニングセンタを，EXCELL-O社がKrauss Maffei社のリニア誘導モータを用いた高速マシニングセンタを開発して工作機械メーカーの関心を一気に高めた。このことがきっかけとなって日本におけるリニアモータを用いた工作機械ブームが起こった。 この流れに沿って，各モータメーカーも産業用リニアモータの汎用化を進めてきた。 電気学会リニアドライブ技術委員会傘下の調査専門委員会では，産業用リニアモータに関する評価方法や研究·開発動向の調査研究を，また，精密工学会超精密位置決め専門委員会では主に精密位置決めの観点から調査研究を行ってきた。本特集では，リニアモータの産業応用に焦点を当てて，リニアモータとボールねじ駆動との比較や半導体製造装置などへの応用を主に採り上げている。