一种氦质谱吸枪累积检漏法的应用及影响因素

摘要

现代工业系统通常对密封性提出一定要求,精密系统或安全相关的应用场合对密封性的要求尤其高.使用氦质谱仪对被检查系统进行泄漏定位和定量成为普遍选择.综合考虑检漏灵敏度、经济性、对复杂系统的适应性,该文章提出一种使用柔性收集室的氦质谱仪吸枪累积检漏法.通过对可能影响检验结果的几个因素,进行理论分析和简单公式推导,提出了简化的漏率计算公式.论证结果表明,该检漏方法有着合理的理论依据,在结合相关实践经验后可以应用到实际检漏中.