精密零件表面粗糙度的测量方法综述

摘要

精密零件的表面粗糙度是表征工件表面质量的主要指标,也是工程实际中应用最广泛的,因此准确测量工件表面粗糙度是评价工件表面质量优劣的有效方法.本文按接触式和非接触式测量方法分类介绍了表面粗糙度的测量方法及其最新研究进展.接触式测量就是测量装置的探测部分直接接触被测表面，能够直观地反映被测表面的信息，主要有比较法、印模法、针描法等测量方法，而非接触式测量就是利用对被测表面形貌没有影响的手段间接反映被测表面信息来进行测量的方法，主要有光切法、光干涉法、激光散斑法、光散射法、聚焦法、激光衍射法、超声波法、实时全息法、AFM法等测量方法。