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表面粗糙度的光纤传感测量方法

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表面粗糙度的光纤传感测量方法,具有非接触、快速和在线测量的优点.测量表面粗糙度的光纤传感器可以分为三类:反射型、漫射反射比型和干涉型.本文介绍了这三种传感器的结构和测量原理.

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来源
《2002年全国电子测控工程学术年会》|2002年|1408-1411|共4页
会议地点武夷山
作者
孙俊卿;
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作者单位

中国电子学会;

中国仪器仪表学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TP212.14;
关键词
表面粗糙度; 光纤传感器; 测量方法; 测量原理;

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