薄膜材料介电常数的测量

摘要

薄膜材料的介电常数是电介质薄膜材料研究中需要测量的一个基本物理量,本文讨论了用阻抗分析仪测量薄膜材料介电常数的方法。用Agilent 4294A高精度阻抗分析仪、16047A夹具以及探针平台搭建了薄膜材料C-V曲线测量平台,测量了HfO2薄膜介电常数。薄膜材料介电常数测量实验可作为大学物理实验的一个研究性实验项目。