测量低损耗薄膜材料介电常数的标量法

摘要

依据被测介质性质,在现有实验设备条件下,提出了一种标量法测量低损耗薄膜介质介电常数的新方法.该方法利用传输线法测量原理,先测量待测介质损耗,间接得到反射系数,由反射系数与介电常数关系式,推导得出待测介质的介电常数.该方法有样品容易制作,测量简单准确等特点.通过测量实例的误差分析,指出标量法测量薄膜材料介电常数的不足,提出相应的改进措施.