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金属玻璃微流控装置的热塑性成型制备

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由于在过冷液相区的优异热塑性成型能力,金属玻璃被认为是微型制造的理想材料.在本文中,提出利用钯基金属玻璃进行微流控装置的高效精确制造.扫描电子显微镜和表面分析测量仪显示金属玻璃微流控装置拥有优异的尺寸精度.失重腐蚀试验也证明了金属玻璃与传统的微流控装置材料硅相比具有更优秀的耐腐蚀性能.本文的研究结果表明金属玻璃是一种新型的具有广泛前景的微流控装置制造材料.

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来源
《2016年第十届泛珠三角（扩大）锻压（塑性工程）学术年会》|2016年|94-97|共4页
会议地点广州
作者
卢乐明; 马将; 龚峰; 罗烽;
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作者单位

广东省机械工程学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类压力加工工艺;
关键词
金属玻璃; 微流体通道; 热塑性成型; 耐腐蚀性;
入库时间 2022-08-17 11:21:54

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