氮化硅气压烧结工艺及性能分析

摘要

应用多种烧结助剂,采用气压烧结工艺制备相应的氮化硅制品,研究各种烧结助剂种类及含量对氮化硅块体致密化程度的影响,通过SEM及力学性能测试,分析烧结助剂种类及含量对制品β相转化比例、气孔率、晶粒形貌、抗弯强度的影响,在烧结助剂总量低于3％的条件下,样品致密度在72-82％之间.