氮化硅天线罩的烧结工艺研究进展

摘要

介绍了氮化硅陶瓷的常用的烧结工艺,并对它们应用于氮化硅天线罩烧结的可行性进行了分析,提出热等静压烧结和气压烧结是不错的烧结方法,常压烧结和反应烧结在改进后也是可选的方式。