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脉冲电镀波形扰动对高厚径比通孔深镀能力影响研究

摘要

简述了脉冲电镀工艺的原理,对反向脉冲进行了详细介绍.本文对反向脉冲电镀中波形的扰动情况做了较详细探究,对不同阴极接线方式和震动方式对阴极飞巴波形的扰动进行了测试,进一步研究其对高厚径比通孔电镀能力的影响,并提出了相关作用机理.研究发现,通过控制脉冲电镀过程中施加于阴极飞巴波形的相对稳定,能够提升高厚径比通孔的镀通率.

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