微型腔叠层滑焊成形方法及其沉积效应机理研究

摘要

由于三维微电极制备困难,对于100～1000μm尺度范围的三维微型腔,主流技术通常采用一维微柱状电极进行分层扫描电火花或电解铣削加工,但一维微柱状电极截面尺寸十分细小,容易受电火花油或电解液流动等干扰,影响加工精度,严重时还会发生折弯损坏:而且,一维微柱状电极分层扫描加工效率较低.本项目旨在研究通过金属箔叠层成形制备三维微型腔和面向电火花加工的三维微电极,开拓全新的三维微型腔加工技术,形成相关工艺方法与应用科学知识.