无线无源颅内压传感器结构设计与优化

摘要

为实时监测脑外伤患者颅内压力变化情况,提出了一种基于MEMS技术的植入式无线无源颅内压传感器.该传感器基于感应原理,由压力敏感电容和固定电感串联而成的LC振荡电路.针对该传感器结构,依次建立了力学场模型、电学场模型以及力学-电学耦合场模型,并进行了理论分析及有限元仿真验证.最后,采用了正交试验设计方法对模型参数进行优化设计,确定了传感器最优参数组合,使得传感器能够满足临床应用对器件灵敏度及检测精度的要求.