3500V,15A全碳化硅功率模块制备与测试

摘要

碳化硅(SiC)功率器件是一种理想的高压大容量电力电子器件,具有高阻断电压以及高电流导通密度的特点,在新能源开发、轨道交通、电网革新以及国防装备电气化方面具有重大应用潜力.本文基于具有自主知识产权的碳化硅结型场效应晶体管(SiC JFET)和碳化硅肖特基势垒二极管(SiC JBS)器件,制备了国内首个高压全碳化硅功率模块.制备的模块阻断电压超过3500V,电压达到15A.模块展现了良好的电流导通能力与开关特性.本文的工作为进一步研制高压大容量全碳化硅功率模块提供了良好的基础.