一种评估ESD防护器件性能的TCAD方法论

摘要

ESD(静电放电)防护器件不仅需要有丰富的设计经验，还需要有科学的TCAD(工艺计算机辅助设计)评估方法论。以对CDM(器件充电模式)下SCR(可控硅)防护器件防护性能评估为例，提出了一种旨在客观评估ESD防护器件性能的新颖的TCAD评估方法论。这种TCAD仿真方法论侧重对ESD防护器件中更有价值的瞬态行为进行评估。结果表明，该TCAD方法论收敛性良好，能够对ESD防护器件的性能进行科学评估，对ESD防护器件的设计具有很强的指导作用。