薄膜系列实验的教学研究

摘要

从薄膜制备、生长过程动态分析以及形貌表征三方面对薄膜科学展开探索性研究。利用粒子束溅射制备金属薄膜,研究制备条件对溅射速率的影响;同时测量薄膜生长过程中电阻变化,用扫描隧道显微镜或原子力显微镜观测薄膜的表面形貌,并分析不同制备条件得到的薄膜,其表面形貌的特征。本实验涵盖了真空系统、溅射镀膜、电阻测量、微观形貌分析等多方面知识。