微晶硅TFT-OLED产业化关键技术的研发

摘要

有机电致发光二极管(OLED)由于低功耗、快速响应、宽视角以及可做到柔性衬底上等优点而成为当今平板显示领域的研究热点之一，是距离产业化最近，最有希望成为下一代平板显示器的代表性技术。本文将介绍微晶硅TFT阵列基板设计和制造工艺，高性能OLED的制备与TFT-OLED集成技术、以及TFT-OLED薄膜的封装工艺。