稀土掺杂的纳米NiO薄膜的制备及其气敏特性

摘要

用Ni(Ac)<,2>4H<,2>O、CH<,3>OH、稀土硝酸盐、乙酰丙酮作原料,使Ni(Ac)<,2>2H<,2>O在CH<,3>OH中水解得到稀土掺杂的Ni(OH)<,2>溶胶。通过旋涂法制得稀土掺杂的Ni(OH)<,2>薄膜,在400°C煅烧得到稀土掺杂的NiO薄膜,并用XRD、HRTEM等检测手段表征了膜的结构,同时研究了它的气敏特性,实验结果发现稀土掺杂提高了NiO气敏薄膜元件检测甲醛的灵敏度和选择性,同时降低了检测工作温度。