硅表面有机分子膜的研究

摘要

硅属于第五主族元素,是一种常见的半导体材料。由于其在集成电路和计算机的广泛应用,所以硅的表面化学反应一直是人们的研究重点。单晶硅的表面很容易形成一层氧化硅,大约在二十世纪六十年代起,人们就是利用这层氧化硅作为其表面钝化。随着计算机技术的日新月异的发展,硅芯片的尺寸迅速微型化,最近低于100nm的芯片已出现。本文主要研究硅表面的生物功能化，进而实现实用的生物传感器。