一种有机分子对硅表面钝化效果的预测方法

摘要

本发明提供了一种有机分子对硅表面钝化效果的预测方法，其采用基于密度泛函的第一性原理方法进行预测，包括：建立有机分子与硅表面的吸附模型，计算吸附能，确定有机分子钝化硅表面时的稳定钝化结构；计算稳定钝化结构界面的电子结构属性、电荷转移情况和成键情况；判断硅表面原子的钝化比例和硅表面原子的钝化强度，预测钝化效果。本发明的预测方法可以快速判断钝化结构，还可以用于寻找并设计合适的有机钝化材料，指导实验的合成，节约时间及成本，减少了实验过程的人为因素和环境因素的干扰，可靠性高，重现性好。