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CZ法生长的硅单晶体中热应力分析

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用有限元法对Czochralski法(CZ法)生长的硅单晶中的热应力进行求解.假设晶体为轴对称的各向同性线弹性体.得到了在添加子结构--气体导流筒后,熔体流动在单纯浮力以及在浮力与热毛细力共同作用下,气体流率对生长晶体中的热应力分布的影响,与无子结构比较表明,晶体中的热应力最大值增加了,同时发现,子结构的热物性对热应力有较大的影响.

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来源
《2006中国工程热物理学会传热传质学学术会议》|2006年|1180-1184|共5页
会议地点南京
作者
刘春梅; 李明伟; 曾丹苓;
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作者单位

中国工程热物理学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类晶体的力学性质;热弹性力学（热应力）;
关键词
CZ法; 硅单晶体; 热应力;

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