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垂直腔体表面光发射器件的模拟与实践

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设计了一种新型的垂直腔体表面光发射器件,并模拟了布拉格反射镜的反射谱以及薄膜厚度误差对镜反射谱的影响.模拟结果从理论上证实了PECVD方法能够满足制备垂直腔体表面光发射器件所要求的工艺条件,实验中用PECVD工艺制备出了性能良好的器件.

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来源
《中国仪器仪表学会第四届青年学术会议》|2002年|601-602|共2页
会议地点北京
作者
但亚平; 岳瑞峰; 王燕; 刘理天;
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作者单位

中国仪器仪表学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类激光器结构;
关键词
体表面光发射器件; 反射谱; 激光器; 制备工艺; PECVD法;

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