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单晶硅微型阀的设计制作

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本文研制的单晶硅微型阀是为了硅微型泵的应用专门设计的,但是微型阀本身也可以作为流体控制器件.文中详细说明了微型阀的设计和加工工艺,讨论了该阀加工过程中的干法腐蚀和湿法腐蚀工艺,以及自停止腐蚀工艺.

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来源
《中国兵工学会第10届测试技术研讨会》|2000年|729-734|共6页
会议地点合肥
作者
王晓浩; 周兆英; 张文栋;
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作者单位

中国兵工学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TH138.522;
关键词
微型阀; 单晶硅; 自停止腐蚀;

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