マイクロバルブ－熱膨張型マイクロバルブとその応用

摘要

メカトロ分野におけるMEMSは、小型化の限界を見極める上でマイクロアクチュエータの開発が重要な課題となっている。 このような中で、流体機器を構成する要素部品として様々な方式のマイクロバルブが提案されている。 本稿では、MEMSによる各種マイクロバルブの構造について紹介し、その応用例について触れる。