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新型化学汽相沉积技术Cat-CVD的发展趋势

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Catalytic CVD(简称Cat-CVD)是一种不同于传统化学汽相沉积(CVD)技术的薄膜制备方法,由于具有简便低廉的特点,逐步受到人们重视.此项技术在Si系材料的制备方面已有较大进展,更表现出与其它技术结合的发展趋势,但仍面临一些突出的问题.

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来源
《第四届中国功能材料及其应用学术会议》|2001年|1415-1417|共3页
会议地点厦门
作者
严辉; 王波; 汪浩; 宋雪梅; 王玫; 李建超; 赵谦;
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作者单位

中国仪器仪表学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TN304.055;
关键词
Cat-CVD; 纳米Si薄膜; SiN,x薄膜; SiC薄膜;

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