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双离子束反应溅射在Si(100)衬底上生长(100)CeO<,2>薄膜

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来源
《第十届全国半导体集成电路、硅材料学术会》|1997年|292-294|共3页
会议地点青岛
作者
康晋锋;
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作者单位

中国电子学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类结构;
关键词
集成电路工艺技术;

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