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潘晋;
中国机械工程学会摩擦学分会;
表面粗糙率;
机译:真空兼容的静压气体轴承-使用静压气体轴承和气动执行器的半导体暴露装置
机译:真空兼容静压气体轴承半导体曝光装置,采用静压气体轴承和气动执行器
机译:带有润滑剂输出流量调节器的双列径向气体静压轴承的静态特性
机译:静压气体轴承主动阻尼控制研究(第一报告:清洁压力控制轴承特性改善的可能性)
机译:静压气体轴颈轴承动力学特性研究
机译:回流和有效粘度对气体微轴承微弹-气动润滑性能的综合影响
机译:壁面孔隙率和表面粗糙度对Rabinowitsch润滑液润滑外压静压圆柱轴承稳态性能的影响
机译:气体轴承设计图表。第2卷。静压气体轴颈轴承和静压气体推力轴承
机译:使用多孔质静压气体轴承的多孔质静压气体轴承以及多孔质静压气体轴承的轴承材料
机译:静压气体轴承,用于真空环境的静压气体轴承装置以及静压气体轴承装置的气体回收方法
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