不同功率制备窗口层对p型单晶硅衬底异质结电池的影响

摘要

在异质结电池中,窗口层的制备是非常关键的一步.功率对PECVD法制备窗口层材料有重要影响.本文使用不同功率制备窗口层材料,将其应用到p型衬底硅异质结电池中,观察不同功率窗口层对最终电池各项参数的影响,并最终确定适合的窗口层沉积功率,旨在减少衬底轰击损伤,获得高性能掺杂窗口层材料.