溶胶凝胶法制备介孔五氧化二钽薄膜

摘要

用溶胶凝胶法成功的制备了介孔五氧化二钽(Ta2O5)薄膜.使用的前躯体为氯化钽、聚合物P123、稀盐酸.研究了P123加入量、稀盐酸加入量、烘干温度对介孔五氧化二钽薄膜结构的影响.得到的氧化膜用小角XRD(Siemens DS00/D501)、TEM(Je ol,JEM-2100)进行表征。对五氧化二钽薄膜的热稳定性进行了研究。结果表明400℃热处理1小时后介孔结构仍然保存。