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硅功率器件生产中控制少子寿命的电子辐射工艺

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来源
《全国加速器工业辐照技术与应用学术讲座讨论会》|1986年||共7页
会议地点上海
作者
兰李桥;
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作者单位

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类光刻、掩膜;
关键词
半导体器件;

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