基于微机加工艺的体硅对趾渐变槽天线

摘要

本文介绍了一种基于体硅微机加工艺的太赫兹对趾渐变槽天线.天线由对趾渐变槽结构及WR2.2馈电波导组成.输入阻抗的测试结果显示在480到500GHz频段内低于-15dB.经计算,辐射方向图的高斯率高于90％.进一步测试了492GHz的方向图,3dB波束宽度在E面为25.5°,在H面为25°,波束对称性良好.该天线适合用于成像及探测系统.