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钟昌明; 邱运灵; 韩小标; 梁捷智; 邢洁莹; 杨航; 黄德佳; 侯雅倩; 戴雅琼; 任远; 张佰君;
中国电子学会;
中国有色金属学会;
激光器; 氮化镓半导体; 微盘谐振腔; 干法刻蚀; 湿法腐蚀;
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机译:具有超导腔的微盘太赫兹量子级联激光器具有超导腔的微盘太赫兹量子级联激光器具有超导腔的微盘太赫兹量子级联激光器
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