光学镜片粗糙表面微凸体对其亚表面损伤的影响分析

摘要

通过建立磨粒与光学元件相邻微凸体间的研磨接触数学模型,动态仿真并分析了在压力一定的条件下,不同磨粒粒径、研磨速度等加工参数作用下,磨粒与光学镜片动态接触过程.仿真结果得出不论磨粒粒径的变化,相邻两微凸体间的应力叠加效应对亚表面损伤深度的影响随研磨速度的递增而呈现出增大的趋势.