含氟聚酰亚胺电容式湿敏元件稳定性研究

摘要

根据电容式湿度传感器的感湿机理,采用新型含氟聚酰亚胺作为湿敏材料,制作出一种三明治结构的电容式湿敏元件,其主要由下极板、聚酰亚胺湿敏薄膜以及多孔上极板组成.对该种湿敏元件的灵敏度、湿滞、温度系数、稳定性等湿敏特性进行了研究.结果表明,该湿敏元件的电容值对相对湿度的响应具有较好的线性,在20℃环境下,非线性误差为1.149％,灵敏度和湿滞分别为0.0785pF/％RH,0.57％RH,温度系数为-0.098％RH/℃,24h漂移率为±0.22％RH,年漂移率小于±1.5％RH,具有优异的长期稳定性.