脉冲调制射频放电的亚稳态、气体温度、斑图研究

摘要

本文进行了同轴电极脉冲调制射频放电中亚稳态研究、脉冲调制射频辉光放电中气体温度(Tg)研究和脉冲调制射频放电中自组织斑图机理研究。