自由曲面超精密加工在位测量技术及其进展

摘要

自由曲面是下一代光学系统的核心元件,具有优异的光学性能和系统集成能力,在新能源、照明、航空航天、生物医药工程等领域有着广泛的应用.自由曲面的超精密加工制造是一个包含了光学设计、加工、测量和评价的复杂集成的闭环流程.在这个过程中,为了保证自由曲面超精密加工的面型精度,在位测量是一项关键性技术.本文详细介绍了在位测量技术在自由曲面超精密加工中的研究现状、应用及其进展.