通过电子辐照改善功率VDMOS开关特性的研究

摘要

通过电子辐照在功率VDMOS器件中引入少子复合中心,从而有效缩短功率VDMOS器件中的少子寿命,改善开关特性。本论文对8N60、13N60等2个型号的功率VDMOS样品进行了电子辐照以及辐照后的退火处理,实验证明电子辐照对提升功率VDMOS器件的开关速度是有效的。