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用于薄膜工艺的多功能宽束离子源

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来源
《中国真空学会第三届真空薄膜技术学术研讨会》|1989年|345-347|共3页
会议地点武汉
作者
饶雨生;
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作者单位

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类注入装置;
关键词
薄膜;

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