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用于薄膜制备的宽束射频离子源

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射频宽束离子源在电火箭空间应用向地面应用扩展而来.本文主要叙述了射频感应离子束的设计理论、关键技术,特别论及三栅离子光学的高性能及可靠性.

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来源
《2004全国荷电粒子源、粒子束学术会议》|2004年|19-25|共7页
会议地点乌鲁木齐
作者
尤大伟; 黄小刚; 任荆学; 李安杰;
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作者单位

中国电工技术学会;

中国电子学会;

中国电机工程学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类注入装置;
关键词
离子源; 射频; 薄膜制备; 感应耦合离子体;

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1. 用于薄膜制备的射频宽束离子源的设计 [J] . 尤大伟 ,黄小刚 ,任荆学 . 真空科学与技术学报 . 2004,第6期
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