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氮气氛下生长的直接硅单晶中的氮浓度轴向分布

著录项

  • 来源
    《硅材料学术会议》|1990年|44-47|共4页
  • 会议地点 承德
  • 作者

    陈修治;

  • 作者单位

    中国有色金属学会半导体材料学术委员会;

  • 会议组织
  • 正文语种
  • 原文格式 PDF
  • 中图分类 TN304.12;
  • 关键词

    硅;

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