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邹泉波;
力学性质;
机译:纳米压痕法对多晶硅微悬臂梁进行机械偏转
机译:开发用于测量薄膜机械和磁性能的高真空悬臂梁磁力计
机译:用于经尿道微积粉用于经尿道微积粉用于经尿道微积粉的经尿道微积粉用于经尿道微积粉碎的经尿道微积分进行经尿道微积分。)使用弯曲机械使用弯曲机械丝使用弯曲机械钢丝使用弯曲机构使用弯曲机构使用弯曲机构使用弯曲机构钢丝使用弯曲机构使用弯管金属丝
机译:用于应力测量的微机械传感器以及用于MEMS应用的自支撑薄膜的微机械研究。
机译:使用机械调制的光反馈干涉仪进行微悬臂梁位移测量
机译:使用结合体/表面微加工技术制造的热机械测试芯片对多晶硅悬臂梁进行机械表征
机译:5级多晶硅表面微机械技术:应用于复杂机械系统
机译:用于检测多个微和纳米机械元素(例如微悬臂梁)位移的系统和方法。
机译:超声波倾斜传感器,用于在确定具有抗寒性的机械性能参数时,测量声波在钢轧制品中的传播速度
机译:用于分析和控制微电子衬底的机械和化学机械平面化中的性能参数的方法和装置
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