机译:使用结合体/表面微加工技术制造的热机械测试芯片对多晶硅悬臂梁进行机械表征
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机译:使用在线数字全息技术对表面微机械微型加热器的热机械特性进行表征
机译:通过片上测试对多晶硅膜进行微机械表征
机译:体/表面微机械加工的多膜测试芯片,用于表征电,机械和热性能
机译:多晶硅表面微加工机构的机械耦合
机译:通过片上测试对多晶硅膜进行微机械表征
机译:使用利用组合体/表面微机械加工技术制造的热机械测试芯片对多晶硅悬臂的机械表征
机译:采用五级多晶硅surface211微加工技术制造的低压旋转执行器