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溶胶-凝胶法制备BaxSr<,1-x>TiO<,3>铁电薄膜的研究

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该文介绍了Ｓｏｌ－Ｇｅｌ法制备ＢｚｘＳｒ〈，１－ｘ〉ＴｉＯ〈，３〉（ＢＳＴ）铁电薄膜的工艺参数。

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来源
《第五届全国固体薄膜学术会议》|1996年|84-86|共3页
会议地点浙江奉化
作者
王静;
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作者单位

中国电子学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类薄膜技术;
关键词
铁电薄膜;
入库时间 2022-08-17 10:44:45

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