碲镉汞晶片少子寿命面分布的自动测试技术

摘要

建立了一套碲镉汞薄晶片加工过程中的少子寿命面分布自动检测系统，用于碲镉汞多元光导器件制备工艺生产线，获得了１８０元器件性能分布同薄晶片少子寿命分布一致的结果。