微电子散热制冷技术的最新进展

摘要

本文首先从温度对微电子芯片、电子设备可靠性影响的角度叙述了微电子制冷技术的重要性,然后从空气冷却、液体冷却、半导体制冷,以及近几年出现的微电子制冷的新技术、新机理、新材料等几个方面描述了微电子制冷技术的最新进展现状。