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UHV/CVD生长锗硅材料特性

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他们用ＵＨＶ／ＣＶＤ系统生长了锗硅合金。

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来源
《第十届全国半导体集成电路、硅材料学术会》|1997年|16-18|共3页
会议地点青岛
作者
姜小波;
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作者单位

中国电子学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类材料;
关键词
衬底;

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1. UHV/CVD生长锗硅材料的偏析现象 [J] . 吴贵斌 ,崔继锋 ,黄靖云 . 材料科学与工程学报 . 2004,第002期
2. UHV/CVD法生长硅基低位错密度厚锗外延层 [J] . 周志文 ,蔡志猛 ,张永 . 半导体学报：英文版 . 2008,第2期
3. UHV/CVD外延生长锗硅碳三元合金的应变研究 [J] . 王亚东 ,黄靖云 ,叶志镇 . 真空科学与技术 . 2001,第3期
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