C-V技术在MOS器件参数失效机理的分析

摘要

该文通过ＭＯＤ生产线上大批产品失效报废的原因分析，揭示了ＭＯＳ电容Ｃ－Ｖ监控技术的一个重要机理，并说明了正确选择样品制备方法的重要性。