溶胶-凝胶工艺制备WO<,3>微结构气敏传感器

摘要

通过微机械加工工艺制备了气敏传感器的三维微结构，采用溶胶－凝胶镀膜技术在此三维微结构上制备了ＷＯ＜，３＞气敏薄膜，借助ＸＲＤ、ＳＥＭ分析了ＷＯ＜，３＞薄膜的结构和表面形貌，测试了传感器的气敏特性。