氨敏薄膜气体传感器的研制及其特性测试

摘要

该文报导采用等离子体增强化学气相沉积技术淀积Ｆｅ＜，２＞Ｏ＜，３＞－ＳｎＯ＜，２＞的敏感薄膜，制成旁热式氨敏元件并测量其敏感特性。